擴(kuò)散焊時(shí)須保證連接面及被連接金屬不受空氣的影響，必須在真空或惰性氣體介質(zhì)中進(jìn)行。采用最多的方法是真空擴(kuò)散焊。真空擴(kuò)散焊可以用高頻、輻射、接觸電阻、電子束及輝光放電等方法，對(duì)工件進(jìn)行局部或整體加熱。工業(yè)生產(chǎn)中應(yīng)用的擴(kuò)散焊設(shè)備，主要采用感應(yīng)和輻射加熱的方法。

擴(kuò)散焊設(shè)備由真空室、真空系統(tǒng)、加熱系統(tǒng)、加壓系統(tǒng)、對(duì)溫度和真空度的檢測(cè)以及控制裝置等組成。無論何種加熱方式的擴(kuò)散焊設(shè)備都主要由以下幾部分組成。

①真空室和真空系統(tǒng)

真空室越大，要達(dá)到和保持一定的真空度對(duì)所需真空系統(tǒng)要求越高。真空室中應(yīng)有由耐高溫材料圍成的均勻加熱區(qū)，以保持設(shè)定的溫度穩(wěn)定；真空室外殼需要冷卻。真空系統(tǒng)一般由擴(kuò)散泵和機(jī)械泵組成。機(jī)械泵只能達(dá)到1.33×10-3 Pa的真空度，加擴(kuò)散泵后可以達(dá)到1.33×10-4～1.33×10-6Pa的真空度，可以滿足材料的擴(kuò)散焊要求。真空度越高，越有利于被焊材料表面雜質(zhì)和氧化物的分解與蒸發(fā)，促進(jìn)界面擴(kuò)散的順利進(jìn)行。但真空度越高，抽真空的時(shí)間越長。按真空度可分為低真空（<1.33′10-2Pa）、中真空（1.33′10-3～1.33×10-4Pa）、高真空（>1.33′10-5Pa）。

②加熱系統(tǒng)

一般由感應(yīng)線圈和高頻電源組成。根據(jù)不同的加熱要求，輻射加熱可選用鎢、鉬或石墨作加熱體，經(jīng)過高溫輻射對(duì)工件進(jìn)行加熱。按加熱方式分為感應(yīng)加熱、輻射加熱、接觸加熱等。

③加壓系統(tǒng)

擴(kuò)散焊過程一般要施加一定的壓力。在高溫下材料的屈服強(qiáng)度較低，為避免構(gòu)件的整體變形，加壓只是使接觸面產(chǎn)生微觀的局部塑性變形。擴(kuò)散焊所施加的壓力較小，壓強(qiáng)可在1～100MPa范圍內(nèi)變化。只有當(dāng)材料的高溫塑性變形阻力較大，或加工表面較粗糙，或擴(kuò)散焊溫度較低時(shí)，才采用較高的壓力。目前主要采用液壓和機(jī)械加壓系統(tǒng)。

④測(cè)量與控制系統(tǒng)

現(xiàn)在應(yīng)用的擴(kuò)散焊機(jī)都具有對(duì)溫度、壓力、真空度及時(shí)間的控制系統(tǒng)。可實(shí)現(xiàn)對(duì)溫度從20～2300℃的測(cè)量與控制，溫度控制的精度可在±（5～10）℃。壓力的測(cè)量與控制一般是通過壓力傳感器進(jìn)行的。

⑤水冷系統(tǒng)

一般通過水循環(huán)系統(tǒng)進(jìn)行冷卻。擴(kuò)散焊設(shè)備啟動(dòng)前應(yīng)接通水冷循環(huán)。擴(kuò)散焊設(shè)備種類繁多。表5.2列舉了幾種真空擴(kuò)散焊設(shè)備的主要技術(shù)參數(shù)。

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